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静压空气轴承是实现加工设备高精度运动的主要部件。使用静压空气导轨的精密工作台因为装配误差、惯量和导轨运动耦合误差而影响加工的速度和精度。本文进行了矩形静压空气止推轴承工作台的分析与设计,由矩形静压空气止推轴承实现工作台平面三轴的气体润滑,消除安装误差和运动耦合误差,可以实现消除库伦摩擦的纳米精密运动,并且在一定程度上减小了工作台的质量,对静压气浮工作台的加速度、速度和精度的提高有重要意义。首先,本文分析和研究了矩形静压空气止推轴承的工程算法,对节流孔呈单排布置的静压空气止推轴承不同孔距下的气体流场进行等效,给出不同流场模型的静压空气止推轴承静态特性的解析表达式,并通过算例与文献进行对比;利用提出的工程算法分析并设计了两种静压空气止推轴承工作台;分析了静压空气止推轴承工作台工作点的确定与实现,讨论了各种预载方式的特点和实现方法。随后,本文对小孔节流静压空气止推轴承工作台的微振动和气锤现象产生的原因进行了分析,给出削弱微振动和抑制气锤现象的方法,并对所设计的静压空气止推轴承工作台的稳定性进行了判断。最后,本文对设计的具有真空预载的静压空气止推轴承工作台进行了数值模拟。在供气压力为0.6Mpa时,与数值模拟结果相比,工程计算的载荷误差为1%,最大静刚度气膜厚度吻合度好。
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Basic Info :
Degree: 工学硕士
Mentor: 毛军红
Year: 2008
Language: Chinese
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