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回顾了应用于SOI功率集成电路的SOI功率器件的发展背景,论述了SOI功率器件的开发现状,以及作为SOI功率器件基础的SOI材料制备技术和耐压结构研究的最新进展.同时指出了在SOI功率器件研究中需要解决的问题,以及今后的研究发展重点.
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固体电子学研究与进展
ISSN： 1000-3819
Year： 2000
Issue： 2
Page： 152-159
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